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概要

この製品はマイクロブリッジ質量流量センサテクノロジを利用しています。AWM1000シリーズ質量流量センサは、コストパフォーマンスを高めたプラットフォーム上に、標準AWM2000シリーズの優れたパフォーマンスの利点をすべて備えています。このデバイスは正確で再現性のある流量検出を実現します。センサ間の互換対応性能はAWM2000シリーズに比べてほぼ2倍です。

仕様通りの動作には、ヒーター制御回路およびセンシングブリッジ給電回路の両方が必要です。これら2つの回路は、基板上のセンサではなく、アプリケーション内で提供される必要があります。出力ゲインの提供、センサ出力への電圧オフセット導入には、差動増幅回路を活用できます。

警告:製品破損

AWM シリーズ Microbridge マスエアフローセンサは液体流量の検知用ではないため、液体がセンサを通過すると損傷を受ける可能性があります。
これらの指示に従わなかった場合、製品の破損を招く可能性があります。

文書


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製品 信号処理 補正温度 流量/圧力範囲 媒体適合性
AWM1100V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±200 sccm ドライガスのみ
AWM1200V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±10.0 mbar [4.0 in の水] ドライガスのみ
AWM1300V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] 1000 sccm(1.0 SLPM)〜 - 600 sccm ドライガスのみ

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