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概要

AWM2000シリーズMicrobridgeマスエアフローセンサは、2つのWheatstoneブリッジを備えたパッシブデバイスです。仕様通りの動作には、ヒーター制御回路が必要です。さらに仕様通りの動作には、センシングブリッジ給電回路も必要です。これら2つの回路は、基板上ではなく、アプリケーション内で提供される必要があります。センシングブリッジのインターフェースには差動増幅器を活用できます。これは、ゲインおよびセンサ出力へのオフセット電圧導入に使用できます。

警告:製品破損

AWM シリーズ Microbridge マスエアフローセンサは液体流量の検知用ではないため、液体がセンサを通過すると損傷を受ける可能性があります。
これらの指示に従わなかった場合、製品の破損を招く可能性があります。

文書


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製品 信号処理 補正温度 流量/圧力範囲 媒体適合性
AWM2100V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±200 sccm ドライガスのみ
AWM2100VH 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±200 sccm 水素ガス
AWM2150V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±30.0 sccm ドライガスのみ
AWM2200V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±10.0 mbar [4.0 in の水] ドライガスのみ
AWM2300V 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±1000 sccm(1 SLPM) ドライガスのみ
AWM2300VH 増幅なし(mV) -25°C~85°C [-13°F~185°F] ±1000 sccm(1 SLPM) 水素ガス

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