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概要

インラインフロー測定
AWM5000 シリーズ Microbridge マスエアフローセンサは、ベンチュリ型フローハウジングを備えています。これらは、2.25" H2Oの最大圧力降下を誘発しながら、最大毎分20標準リットル(SLPM)のフローを測定します。Microbridge チップは、フローストリームと直接接触するため、開口部またはバイパス流路の目詰まりに起因するエラーの可能性を大きく低減します。

頑丈で多彩なパッケージ
頑丈なプラスティックパッケージは、最大 50 psi までのコモンモード圧力に耐えるように設計されており、小さな検出素子により、パフォーマンスを落とすことなく100 g の衝撃耐性を実現します。付属の「AMP」互換コネクタは、要求の厳しいアプリケーションで信頼性の高い接続を提供します。

オンボード信号処理
各 AWM5000 センサは、増幅、線形化、温度補正、およびガスキャリブレーションを実行する回路を含んでいます。流量範囲にかかわらず、すべてのリスト(5、10、15、20 SLPM)またはキャリブレーションガス(窒素、二酸化炭素、亜酸化窒素、またはアルゴン)で、1〜5 Vdc のリニア出力が可能です。すべての較正はアクティブレーザーにより実行されます。

警告:製品破損

AWM シリーズ Microbridge マスエアフローセンサは液体流量の検知用ではないため、液体がセンサを通過すると損傷を受ける可能性があります。

文書


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製品 信号処理 補正温度 流量/圧力範囲 媒体適合性
AWM5101VA 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜5.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5101VC 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜5.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5101VN 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜5.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5102VA 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜10.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5102VC 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜10.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5102VN 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜10.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5103VA 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜15.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5103VC 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜15.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5103VN 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜15.0 SLPM ドライガスのみ
AWM5104VA 増幅あり 0°C〜50°C [32°F〜122°F] 0 SLPM〜20.0 SLPM ドライガスのみ

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