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概要

動作

Microbridgeマスエアフローセンサは、熱伝導原理を利用して動作します。マスエアフローは、検出素子の表面を流れてゆきます。出力電圧は、パッケージの吸気および排気ポートを通過する空気の質量あるいは他のガスの流量に比例して変化します。特別に設計されたハウジングが、微細構造の検出素子を通してエアフローの流れを正確に導き、制御します。パッケージの機械的設計により、プリント回路基板に容易に取り付けることができます。

Microbridgeマスエアフローセンサは、高度な微細構造テクノロジを基にした独自のシリコンチップを備えています。薄膜、ヒータと温度検出素子を含む、熱絶縁されたブリッジ構造で構成されています。ブリッジ構造により、チップ上を流れる空気または他のガスを、高感度かつ迅速に検知できます。中央加熱素子の両側に位置する二重の検出素子は、流れの方向および流量を示します。レーザートリムされた厚膜および薄膜抵抗器により、デバイス間の一貫した互換性が確保されます。

Microbridgeマスエアフローセンサは、シリコン窒化物の薄膜を堆積した温度検出抵抗器を使用しています。この温度検出抵抗器は、シリコン内のエッチングキャビティ上に2つのブリッジ形状で吊り下げられます。このチップは、精確に配置されたエアフローチャンネルに設置され、流量に対して再現性のある応答を提供します。フローセンサブリッジ下部にあるキャビティ空間のエッチングにより、ヒーターと検知抵抗器の非常に効果的な熱的分離を実現しました。Microbridgeマスエアフローセンサの小型化および熱的分離により、フローへの非常に高速な応答および高い感度が可能になります。

デュアルホイートストンブリッジがエアフローの測定を制御します。1つは閉鎖ループのヒーター制御、もう1つはデュアル検知素子を含んでいます。ヒーター回路は、質量流量に比例した出力の提供により、周囲の温度変化によるシフトを最小限に抑えます。この回路によって、チップ上の発熱抵抗器が周囲の空気温度を検知し、周囲温度から一定の値(160°C)だけ高い温度でヒーターの温度を維持します。デバイスのレシオメトリック電圧出力は、ホイートストンブリッジ回路全体の差動電圧に対応します。

注意

一部のアプリケーションでは埃による汚染が発生することがありますが、これは最小限度に抑えることができます。空気流中に存在する粉塵粒子は、チップ表面に平行なチップを通過していくよう設計されています。また、微細構造チップが熱泳動効果を発生させ、マイクロメートルサイズの埃粒子をブリッジ構造から遊離させます。

シンプルなフィルタで、チップのエッジとチャネル表面への埃の付着を防ぐことができます。ほとんどのアプリケーションでは、エアフローデバイスの上流側に使い捨ての5ミクロンフィルタを直列に配置することにより、十分なろ過を行うことができます。

警告:製品破損

AWM シリーズ Microbridge マスエアフローセンサは液体流量の検知用ではないため、液体がセンサを通過すると損傷を受ける可能性があります。
これらの指示に従わなかった場合、製品の破損を招く可能性があります。

文書


AWM40000シリーズ製品を閲覧する

製品 信号処理 補正温度 流量/圧力範囲 媒体適合性
AWM43300V 増幅あり なし 1000 sccm(1 SLPM) ドライガスのみ
AWM43600V 増幅あり なし 6 SLPM ドライガスのみ

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